Ang process cooling water system ay binubuo ng mga sumusunod na bahagi: chillers, pumps, heat exchangers, water tanks, filters, at process equipment.
Water chiller: Magbigay ng malamig na mapagkukunan para sa sistema ng paglamig ng tubig.
Water pump: i-pressurize ang tubig upang matiyak ang sirkulasyon nito sa cooling system.
Heat exchanger: Gamitin ang kagamitang ito upang makipagpalitan ng init sa pagitan ng chilled water system at ng chilled water system upang ilipat ang init na nabuo sa dulo ng load ng system sa chilled water system.Mayroong maraming mga uri ng mga heat exchanger, na maaaring nahahati sa uri ng shell-and-tube, uri ng plato, uri ng plate-fin, uri ng heat pipe, atbp. ayon sa kanilang anyo.Sa paghahambing, ang plate heat exchanger ay may mga pakinabang ng isang maliit na bakas ng paa at isang malaking lugar ng paglipat ng init.Isinasaalang-alang ang mga katangian ng gastos ng espasyo at lugar ng'ang semiconductor plant, kagamitan na may maliit na bakas ng paa ay ginustong upang makatipid sa lugar ng lupa at gastos sa engineering.
Tangke ng tubig: Ang tangke ng tubig sa bukas na sistema ay pangunahing gumaganap ng papel na pandagdag sa pinagmumulan ng tubig.Ang tangke ng tubig sa saradong sistema ay kailangang pumili ng tangke ng pagpapalawak ng tubig.Ang tangke ng pagpapalawak ng tubig ay may tatlong pag-andar.Ang isa ay upang maglaman at mabayaran ang pagpapalawak at pagliit ng tubig sa sistema;ang isa ay upang magbigay ng isang matatag na presyon sa saradong nagpapalipat-lipat na sistema ng tubig at gumaganap ng isang papel sa pagpapapanatag ng system;Ang pangatlo ay bilang indikasyon ng system water pump, kadalasan ang expansion tank ay nagpapadala ng signal para simulan o isara ang system water pump.
filter: salain ang solid particleMayroong dalawang medyo independiyenteng sistema sa proseso ng sistema ng paglamig ng tubig, ang pinalamig na tubig at tubig na nagpapalamig.Ang pinalamig na tubig ay ibinibigay ng chiller, at ang pinalamig na tubig at ang cooling na tubig ay nagpapalitan ng init upang palamig ang tubig na nagpapalamig at bawasan ang temperatura ng kagamitan.Ang tubig ay pumped mula sa production equipment sa pamamagitan ng water pump papunta sa heat exchanger upang matiyak ang temperatura ng proseso ng paglamig ng tubig sa pamamagitan ng pagkontrol sa dami ng pinalamig na tubig, at pagkatapos ay ipinadala sa production line equipment pagkatapos maipasa ang filter, at pagkatapos ay bumalik sa ang water pump.Ang proseso ng pagbuo ng paglamig ng tubig ay paulit-ulit na umiikot.Ang pinalamig na tubig ay direktang ibinalik sa chiller.